LED制造专用工艺设备

所有用于LED制造的设备在灵活性和产能方面都进行了优化，配备了高亮度的曝光光源和高速传输系统。光学曝光设备可以配置背面和红外对准模块，实现衬底在正面对准、背面对准或掩埋结构对准后的曝光。许多系统都实现了完全的模块化，使其功能和产能得到了进一步增强。一些设备甚至可以互相连接，最大程度地实现设备高产能、工艺一致性和操作独立性。

LED市场通常可以分为日用LED（手机中使用的约为0.10美元/个）、高亮度LED（汽车中的尾灯约为1美元/个）和超高亮度LED（建筑照明使用的约为3美元/个），每个市场都有它独特的挑战和机遇。对日用LED市场，成本是极为重要的，因此制造器件的总成本需要精确控制。对于此市场，SUSS提供了手动操作或简化配置的设备，可以帮助客户节省非常可观的成本。

对于高亮度和超高亮度的终端器件，器件特性极度依赖于芯片中产生的最大光强。由于性能直接依赖于器件的制造和封装工艺，SUSS的设备可以集成几个性能增强模块，包括一个直观的用户界面、用于优化特征尺寸和光刻套刻精度的硬件和软件、自动光学滤波组件和掩模库，甚至包括一个工厂自动控制模块。这个工厂自动控制模块可以把工艺设备直接连接到工厂的控制主机上，帮助实现设备使用、良率的最优化及最少的工艺失误。

为了从器件中提取所有的光能，SUSS的键合机可以把微镜、其它光学元件与器件装配为一体，这些元件可以帮助引导和准直那些器件中本来要作为热量而耗散掉的光能，从而增强LED的输出光强。依靠这些技术，SUSS提供专业的设备和工艺支持，帮助客户选择、优化这些设备及技术支持服务。