微电子机械系统

未来世界的创新力量

MEMS – 在同一块芯片上使用微加工的技术将机械功能(传感、移动、加热)和电气功能(开关、决定)进行集成。与一般电路的基本加工过程相同,在硅和玻璃等材料上制作的机械功能结构也采用图形化、刻蚀、掺杂和互连等技术。

微电子机械系统(MEMS)在汽车、工业控制传感器和消费产品等许多领域都有重要的应用。

这类器件应用的例子,诸如安全气囊用的加速度计、光学投影系统中的数字微镜、压力传感器、喷墨打印头、硬盘驱动器及用于射频技术或硅微麦克风的可调谐滤波器。

所有这些器件都需要用于制造、封装和测试的设备。依靠完整的、系列的MEMS工艺和测试设备,SUSS MicroTec已经确立了在高产能MEMS制造和晶圆级MEMS测试领域的领先地位,也因此成为MEMS市场创新设备解决方案的主要供应商之一。

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