Lithography Solutions

光刻机

无以匹敌的精确性用于薄膜和厚膜光刻

SUSS MicroTec光刻机已经成为卓越性能、高对准精度和精密曝光光学系统的代名词。SUSS MicroTec提供完整的光刻机产品线,可用于高端自动化代工厂,量产生产线和研发实验室等各种场合。SUSS MicroTec所设计的光刻机满足MEMS、先进封装、三维封装、化合物半导体、功率器件、太阳能、纳米技术和晶圆片级光学系统等领域的光刻需求。

SUSS MicroTec光刻机可处理从碎片到300mm的各种尺寸、形状和厚度的晶圆片。这些光刻设备可以针对多种应用进行多方面的性能配置,可以设计并达到亚微米级的分辨率和套刻精度。

Automated Mask Aligner

Manual Mask Aligner

Manual Bond Aligner