MA/BA8的一台设备可以为客户提供六套工艺解决方案:

第三代MA/BA8掩模对准光刻和对准键合集成系统是SUSS MicroTec手动对准平台的最新成果,可用于工业化研究和人工辅助的生产环境。MA/BA8是全场光刻技术的新标杆,可用于MEMS、先进封装、三维集成和化合物半导体等市场。此外,它还可以实现多种技术,例如紫外固化纳米压印、紫外键合、晶圆级微镜压印和组装等。

由于手动对准平台可以很轻松地处理所有类型的基片,因此它们在生产中的应用也日益增加。基于新的MA/BA8平台,SUSS MicroTec完全可以满足对工艺控制和良率越来越高的需求。MA/BA8是一个功能强大的系统,可用于研发和人工辅助操作的生产环境。此外,它还可以简便快速地进行技术更新和升级。

特征与优点

 

  • 高分辨率光学系统,可制作特征尺寸小于0.5微米的结构
  • 人工辅助操作的对准精度可优于0.25微米
  • 先进的半自动功能,可实现工艺的最优化控制
  • 工艺可兼容自动化设备
  • 优化的场分割显微镜,含目镜。可选直接观察或LCD显示模块

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