旋转涂胶机和喷雾涂胶机

全面的涂胶/显影方案满足你的需求

SUSS MicroTec生产的旋转涂胶机和喷雾涂胶机已经成为性能卓越、易用、灵活和更强的涂胶控制的代名词。SUSS MicroTec拥有完整产品线，提供紧凑并且用户友好的涂胶设备，从经济型的低成本实验室设备到高端的300mm生产型设备，SUSS 涂胶机可以在同一个工艺腔体中实现从1um到100um的光刻胶层的涂覆。

全自动旋转涂胶机和喷雾涂胶机

高度自动化和模块化的旋转涂胶和喷胶设备应用于最大300mm晶圆片 - 三维集成、凸点技术、晶圆片级封装、MEMS、化合物半导体。

Gamma (最大200mm)
ACS200Plus (最大200mm)
ACS300 Gen2 (最大300mm)

手动旋转涂胶机和喷雾涂胶机

Delta系列涂胶机是适用于研究单位、大学和初创公司的完美设备 – MEMS、晶圆片级封装、三维集成、化合物半导体。

Delta 80RC (最大200mm)
Delta 12RC (最大300mm)
LabSpin 6/8 (最大200mm)

SUSS MicroTec的 AltaSpray喷胶方法，正在申请专利。该喷胶方法对于具有从0到90°甚至更大角度的不同结构，可以提供一致性的保形涂覆。

Delta Altaspray (最大200mm)

集成光刻组合系统

SUSS光刻一体机集成了涂胶、烘烤、曝光和显影模块，特别适用于化合物半导体、晶圆片级封装和MEMS应用中的大规模生产。

LithoPack300 (最大300mm)
LithoFab200 (最大200mm)