Delta AltaSpray

适用于崎岖表面的手动喷雾涂胶机

 

特征与优点

 

  • 在崎岖表面上进行图形加工的关键技术
  • 可靠的顶部和边缘覆盖，同时避免沟槽中的光刻胶残留
  • 专利的喷雾方式设计，实现理想的重复性和洁净度
  • 最大可用于直径200毫米的圆片和面积6英寸×6英寸的方片

 

SUSS新开发的AltaSpray涂胶技术采用新颖的光刻胶淀积方法，可在各种三维结构上涂敷高分辨率的光刻胶薄膜，包括在90度拐角、KOH腐蚀的坑洞、V型槽或微镜等多种结构上进行均匀一致的保形涂敷。

Delta AltaSpray涂胶机可以满足实验室和试产环境下常用工艺的需要，对于起伏台阶几微米到600微米以上的三维微结构加工，都是理想的工具。

SUSS AltaSpray涂胶机也可用于生产环境。

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