SUSS MicroTec设备性能增强方案

增强设备性能的关键包括经验丰富的操作人员、对设备功能的详细了解,清楚如何才能使机器进入最佳运转状态。

SUSS MicroTec设备性能增强方案主要针对全球的光刻、涂胶设备。各类维修、保养、培训专为您的SUSS设备度身定做,确保您的机器运转情况更佳,使用时间更久,花费成本更低。我们的系统升级方案将帮助您提高设备性能、加强工艺灵活性。

我们的客户支持方案包括以下三个方面:

维修保养方案

  • 系统状况检测
  • 预防维护
  • 备件套装

培训

  • SUSS MicroTec设备
  • PatMax图像识别
  • 工艺开发

系统升级

光刻机

  • MA300Plus软件升级
  • 紫外纳米压印光刻
  • MA150/200CC直接对准(DirectAlign)
  • MO Exposure Optics

涂胶台

  • 轴向驱动注射式滴胶系统