Für die LED-Herstellung optimierte Anlagen

Die gesamte Produktpalette für die LED-Herstellung wurde für größtmögliche Flexibilität und höchsten Durchsatz optimiert. Dazu gehören zum Beispiel Lampenhäuser mit extrem hohen Intensitäten oder besonders schnelle Handlingsysteme.Lithografische Belichtungsanlagen können mit Unterseiten- oder Infrarotsichtsystemen so konfiguriert werden, dass nach der Justage neben der Ober- und Unterseite des Wafers auch so genannte verborgene Strukturen belichten werden können. Eine Reihe von Anlagen ist vollständig modular aufgebaut, so dass deren Leistungsfähigkeit und ihr Durchsatz durch Nachrüstung im Feld erweiterbar sind.

Der LED-Markt teilt sich generell in Massenartikel (0,10 USD/Stück für Mobiltelefone), High Brightness-LEDs (1 USD/Stück für Rücklichter von Automobilen) und Ultra High Brightness-Komponenten (3 USD/Stück Gebäudebeleuchtung), wobei jedes Marktsegment seine eigenen Herausforderungen und Chancen birgt. Im Massen-LED-Markt ist der Preis ausschlaggebend und abhängig von den Gesamtkosten für die Herstellung der Bauteile. Für diesen Markt bietet SÜSS MicroTec Geräte, die entweder manuell bedient werden können oder besonders einfach aufgebaut sind, um so eine im Sinne der Betriebskosten besonders günstige Lösung zu schaffen.

Die Leistungsfähigkeit technisch besonders hochwertiger Bauteile wird daran gemessen, ob der Chip eine maximale Lichtmenge zu einem möglichst geringen Preis erzielt. Da diese Fähigkeit direkt mit der Herstellung des Bauteils und seiner Verkapselung zusammenhängt, hat SÜSS MicroTec verschiedene qualitätssteigernde Funktionserweiterungen wie zum Beispiel übersichtliche Benutzeroberflächen, Hard- und Software zur Optimierung der Strukturgröße und lithografischen Justagepräzision, automatischen Filterwechsel, eine Maskenbibliothek und sogar einen Vorschlag für die Fabrikautomatisierung der Anlagen entwickelt. Letzterer verbindet die Anlage direkt mit jeweils dem firmeneigenen Computer für eine bessere Auslastung, hohe Ausbeute und eine Reduktion der Fehler- und Ausfallquote.

Um alle im LED erzeugten Photonen optimal nutzbar zu machen, führen SÜSS MicroTec Bonder das finale Packaging einschließlich Spiegel oder anderer optischer Elemente durch und steigern das Output der LEDs, indem Licht, das ansonsten als Wärme verloren gehen würde, gezielt gelenkt wird. Für alle Prozessarten bietet SÜSS MicroTec neben den erstklassigen Anlagen auch Prozessunterstützung, um so den Kunden bei Auswahl, Optimierung und Wartung seiner Anlage optimal unterstützen zu können.

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