SÜSS MicroTec bietet spezielle Lithografielösung den LED Markt

Einführung des automatischen Mask Aligners MA100e Gen2 für die Produktion von HB-LEDs

”Wir haben deutlich eine wachsende Nachfrage nach technisch anspruchsvoller HB-LED-Technologie bemerkt. Unserer Meinung nach geht der Trend in der LED-Industrie in Richtung niedriger Betriebskosten durch einen steigenden Automatisierungsgrad.” — Frank Averdung, President und CEO, SUSS MicroTec

Garching, 8. Juni 2010 – SÜSS MicroTec, ein führender Hersteller von Equipment und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Märkte, hat heute die nächste Generation des MA100e Mask Aligners auf den Markt gebracht: eine speziell für die Herstellung von High Brightness-LEDs entwickelte Lithografie-Lösung. Basierend auf der bewährten Mask Aligner-Technik von SÜSS MicroTec, verarbeitet der vollautomatische MA100e Gen 2 Wafergrößen von bis 4 Zoll bei einem in der Industrie führenden Durchsatz von145 Wafern pro Stunde und verkürzten Taktzeiten.

Die Hersteller von LED-Geräten sehen sich einem stark wachsenden Bedarf an LEDs gegenüber. In immer höherem Maße wird diese Technik für die  Hintergrundbeleuchtung für Fernseher, Monitore und anderen Systemen verwendet. Mit dem MA100e Gen2 hat SÜSS MicroTec ein wettbewerbsfähiges Gerät entwickelt, das die Forderungen der LED-Industrie nach einer preisgünstigen und technologisch hochwertigen Lösung erfüllt. Eine besonders leistungsfähige Belichtungsoptik gepaart mit Optionen zur Vorjustage verkürzt die wertvolle Prozesszeit, während Funktionen wie Nahbelichtung für höchste Auflösungen bis zu 2,5 µm gleichzeitig Ausbeute und Betriebskosten optimieren. Darüber hinaus bietet der MA100e Gen2 eine hervorragende Prozess-Skalierbarkeit und damit kurze Produkteinführungszeiten für neu entwickelte Bauelemente.

„Wir haben deutlich eine wachsende Nachfrage nach technisch anspruchsvoller HB-LED-Technologie bemerkt. Unserer Meinung nach geht der Trend in der LED-Industrie in Richtung niedriger Betriebskosten durch einen steigenden Automatisierungsgrad.“, sagte Frank Averdung, President und CEO von SÜSS MicroTec. „Mit der nächsten Generation des MA100e hat SÜSS MicroTec einen hochleistungsfähigen, vollautomatischen Mask Aligner für die LED-Produktion entwickelt, der die Kosten per Lumen unserer Kunden senkt und ihre Produktionseffizienz steigert.“