SÜSS MicroTec und Rolith kooperieren bei der Entwicklung von neuartiger Nanolithografie-Technologie

“In Kombination mit unseren flexiblen Systemen bietet Roliths neuartige optische Nanolithografie-Methode eine im Vergleich zu den heutigen Technologien deutlich günstigere Kostenstruktur. Damit hat die neuartige Nanoimprinting-Technologie das Potenzial für die Massenfertigung eingesetzt zu werden.” — Frank Averdung, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec AG

Garching und Dublin (USA), 2. Dezember 2010 – Wie SÜSS MicroTec, ein führender Hersteller von Equipment und Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und verwandte Branchen, heute bekannt gab, hat das Unternehmen eine Entwicklungs- und Exklusiv-Lizenzvereinbarung mit Rolith, Inc. abgeschlossen. Die Zusammenarbeit beinhaltet die Entwicklung und den Bau von Anlagen für die Nanostrukturierung, wofür eine von Rolith entwickelte vollkommen neuartige Methode von Nanolithografie eingesetzt wird. Die Verfügbarkeit eines kosteneffizienten und durchsatzstarken Verfahrens für die Nanostrukturierung großer Substratflächen eröffnet neue Möglichkeiten für erneuerbare Energien und umweltfreundliche Gebäude. Die zum Patent angemeldete Nanolithografie-Technologie von Rolith basiert auf der Anwendung von optischer Nahfeldlithografie mithilfe zylindrisch geformter Rollmasken. Durch phasenverschobene Interferenzeffekte oder plasmonisch optimierte Prägestrukturen werden Auflösungen im Sub-Wellenlängenbereich erreicht. Die durchgehende Belichtung ermöglicht einen hohen Durchsatz und damit niedrige Produktionskosten. „Wir rechnen damit, dass diese Technologie eine neue Generation von hochentwickelten Produkten ermöglicht wie leistungsfähige 3D-Solarzellen, in Gebäude integrierte Photovoltaik-Zellen, intelligentes Glas und andere hochwertige Beschichtungen mit selbstreinigenden Eigenschaften ohne der Verwendung von Spiegel, Blend- und Vernebelungseffekte“, sagte Dr. Boris Kobrin. „Wir freuen uns sehr über die Zusammenarbeit mit SÜSS MicroTec, einem Unternehmen, das für seine erstklassigen Produkte und seinen herausragenden Kundenservice bekannt ist. 60 Jahre Erfahrung im Bereich der optischen Lithografiesysteme sprechen für sich - SÜSS MicroTec verfügt über die benötigte Fachkompetenz und Stellung am Markt, um Rolith bei der Einführung dieser dringend benötigten Technologie optimal zu unterstützen.“ „Die jüngsten Erfolge unserer Lithografiesysteme für das Nanoimprinting zeichnen uns als führende Experten für die Strukturierung von Substraten bei MEMS- und Nano-Anwendungen aus“, stellte Frank Averdung, Vorstandsvorsitzender der SÜSS MicroTec AG fest. „In Kombination mit unseren flexiblen Systemen bietet Roliths neuartige optische Nanolithografie-Methode eine im Vergleich zu den heutigen Technologien deutlich günstigere Kostenstruktur. Damit hat die neuartige Nanoimprinting-Technologie das Potenzial für die Massenfertigung eingesetzt zu werden.“