MEMS / 3D MEMS
Innovation für die Welt von Morgen
MEMS steht für die Kombination aus mechanischen (abtasten, bewegen, aufheizen) und elektrischen (schalten, steuern) Funktionen auf demselben Chip mit Hilfe von Mikrofabrikations-Technologien. Dieselben grundlegenden Prozessschritte wie für die Herstellung konventioneller elektronischer Schaltkreise (strukturieren, ätzen, dotieren, verbinden) werden dazu verwendet, mechanische Funktionalitäten auf Materialien wie Silizium und Glas herzustellen.
Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) haben großen Einfluss auf eine hohe Anzahl verschiedenster Applikationen von Steuerungssensoren für Automobile und Industrie bis hin zu Verbrauchsgütern. ... mehr
Beispiele für solche Bauteile sind Beschleunigungsaufnehmer für die Airbagauslösung, digitale Spiegel für optische Projektionssysteme, Drucksensoren, Inkjet-Druckköpfe, Festplattenlaufwerke, einstellbare Filter für die HF-Technologie oder Silizium-Mikrofone.
Mit einer umfassenden Palette an Prozessequipment für MEMS hat SÜSS MicroTec sich als Marktführer in den Bereichen hochwertiger MEMS-Produktion auf Wafer-Ebene positioniert und ist somit zu einem der wichtigsten Lieferanten innovativer Lösungen im MEMS-Markt geworden.
Prozesstechnologien
| Technologie | Produkt |
|---|---|
| Spin Coater | |
| Mask Aligner, Projektions-Lithografieanlagen | |
| Developer | |
| Wafer Bonder |
Gebrauchtmaschinen
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