Lithografie-Cluster

Lithografie-Cluster

Die Lithografie-Cluster von SÜSS MicroTec stellen integrierte Gesamtlösungen für die Belackung, Aushärtung, Belichtung und Entwicklung dar. Sie werden vor allem in der Massenfertigung von Komponenten für Verbindungshalbleiter, im Wafer Level Packaging oder für MEMS-Anwendungen eingesetzt.