Automatisierte Mask Aligner Platform

MA100/150e Gen2

Der Mask Aligner für die Massenfertigung von Verbindungshalbleiter-Bauelementen

Mit dem MA100/150e Gen2 bietet SUSS MicroTec eine Mask Aligner-Plattform speziell für die Verarbeitung empfindlicher Verbindungshalbleiter, wie zum Beispiel sehr heller LEDs (HB-LEDs), Leistungshalbleiter oder HF-MEMS an. Durch seine hochpräzise Justage, das speziell auf die Handhabung zerbrechlicher, gewölbter und transparenterWafer abgestimmte Handlingsystem und die hohe Auflösung bis hin zu 0,7 µm meistert der MA100/150e Gen2 mühelos alle Produktionsanforderungen eines LED-Fertigungsprozesses.

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