Schrägbelichtung

Schrägbelichtungs-Option zum Belichtung von Steilen und Senkrechten Seitenwänden

Für die Belichtung von steilen und senkrechten Seitenwänden, wie sie in oder auf mikromechanischen Strukturen,  in vertikalen Gräben oder für Verbindungslinien zwischen zwei oder mehreren gestapelten Bauteilen vorkommen, bietet SÜSS MicroTec ein Schrägbelichtungs-System an. Zusätzlich zu steilen Seitenwänden ist die Schrägbelichtung von SÜSS MicroTec auch für topographische Anwendungen mit stark voneinander abweichenden Schichtdicken geeignet, die für ein gleichmäßiges Ergebnis mit unterschiedlichen Lichtmengen belichtet werden müssen. Die möglichen Einfallwinkel der Schrägbelichtung betragen 60 und 45 Grad.

Bislang ist die Schrägbelichtungsoption von SÜSS MicroTec ausschließlich für den MA200Compact erhältlich.