Delta12AQ
12" Sprayentwicklungssystem
DELTA 12 AQ erfüllt alle Anforderungen der Spray-Entwicklung von Substraten bis zu einem Durchmesser von 12" (300 mm) oder Substraten / Masken bis zu 9" x 9" (230 x 230 mm).
Waferreinigung ist auf Anfrage als Option erhältlich.
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ECTC 2012
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