Delta12L

DELTA 12 L ist ein leistungsstarker Spin-Prozessor für Flüssigmedien zur Verarbeitung von Substraten mit einem Durchmesser bis zu 12" (300 mm) oder Substraten / Masken bis zu 9" x 9" (230 x 230 mm). Unterstützt werden Applikationen wie Lift-off mit NMP oder Lösemittelentwicklung (Aceton etc.), Resist-Stripping und Reinigung durch unterschiedliche Methoden der Materialaufbringung, wie Hochdruckspray (bis 120 bar) oder Kosten sparendes Medien-Recycling. Auch leicht zerbrechliche Substrate (z. B. InP, GaAs) können mit äußerst hoher Ausbeute verarbeitet werden.