Fotomasken Systeme

Fotomaskenanlagen

Jede Einführung eines neuen Technologieknotens zieht innovative Weiterentwicklungen in der Fotomaskenbearbeitung nach sich. Um die Anforderungen seiner Kunden vollständig zu erfassen und in Folge ein hohes Maß an Maskenlebensdauer zu gewährleisten, kooperiert SUSS MicroTec eng mit seinen Kunden, Technologiepartnern und OEM Partnern zusammen.

Mit seiner etablierten Produktfamilie von Anlagen für die Fotomaskenbearbeitung deckt SUSS Microtec die ganze Bandbreite an Lithographie-Technologieknoten ab, einschließlich der nächsten Generation für < 10 nm HP. Ihre hochwertigen Lösungen umfassen Stripping, Reinigung, Post-Exposure-Baking und Entwicklungsprozesse.

Automatisierte Anlagen

 

Manuelle Anlagen