LabSpin6 und LabSpin8

Labor-Belacker und -Entwickler für Wafergrößen bis 150 und 200mm

Die LabSpin Plattform von SUSS MicroTec steht für eine neue Generation maßgeschneiderter manueller Belacker/Entwickleranlagen für den Labor- und F&E Bereich. LabSpin Systeme prozessieren eine große Vielzahl von fotolithographischen Chemikalien, wobei das ausgereifte Design der Prozess-Schüssel außergewöhnlich gleichmäßige, präzise und wiederholgenaue Belackungsergebnisse ermöglicht.

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