Beim GYRSET-Prinzip dreht sich die Prozesskammer während des Belackens synchron mit und reduziert so wirkungsvoll Luftturbulenzen über dem rotierenden Substrat. In der geschlossenen Kammer sättigt sich die Atmosphäre rascher als sonst mit Lösemitteln, so dass der Lack langsamer trocknet und sich dadurch gleichmäßiger über dem Substrat verteilt. Dies führt zu einer erheblich Reduzierung des Materialverbrauchs.

Die GYRSET-Technologie basiert auf:

  • Lackauftrag mit offenem Deckel
  • Verteilen des Fotolacks bei geschlossenem Deckel

Eigenschaften & Highlights

  • Geringe Turbulenzen und hoher Sättigungsgrad der Atmosphäre mit Lösungsmitteln führen zu:
    • geringerem Verbrauch an Chemikalien (z. B. BCB)
    • sauberer Rückseite
    • geringerer Oberflächenrauheit (gilt auch für dicke Lackschichten)
    • verbesserte Planarisierung