DSM200 Gen2

Automatisches System zur Kontrolle der Justiergenauigkeit

Das automatische Messgerät DSM200 Gen2 von SUSS MicroTec ist die richtige Wahl bei Anwendungen für die Vorder- zu Rückseitenüberprüfung der Justierung und für Overlay-Anwendungen. Das System ist das ideale Werkzeug zur Messung der Justiergenauigkeit bei Wafern mit einer Größe von 2 inch bis 200mm.

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