UV-NIL

UV-NIL: Prägen von Auflösungen unter 50 nm

UV-NIL ist eine auf UV-Härtung basierende Technologie, die als preisgünstige Alternative zur hochauflösenden Elektronenstrahl-Lithografie für das Prägen von Geometrien im Nanometerbereich entwickelt wurde. UV-NIL-Lösungen könnten sich zu einer Schlüsseltechnologie für die Halbleiter-, MOEMS-, MEMS- und Optoelektronik-Technologie der nächsten Generation entwickeln. Das UV-NIL-Präge-Tooling kann mit geringem Aufwand in bereits installierte Geräte (MA/BA8 Gen3, MA/BA6 Gen2 und MJB4) integriert werden und bietet SÜSS MicroTec Kunden einen direkten Einstieg in die Nano-Welt.

Downloads & Kontakt