MJB4

Modernste F&E-Lösung für kleine Substrate und Bruchstücke

Dank seiner einfachen Bedienung und kompakten Größe ist der MJB4 von SÜSS MicroTec das ideale System für Labore und Kleinserienproduktionen. Die kostengünstige Fotolithografie-Lösung setzt Standards, insbesondere bei der Bearbeitung kleiner Substrate und Bruchstücke bis 100 mm. Seine zuverlässige, hochpräzise Justage und seine Fähigkeit zur hochauflösenden Strukturierung im Submikron-Bereich machen den MJB4 zu einem Gerät mit einzigartiger Leistungsfähigkeit in seiner Klasse.

Besonders häufig verwendet wird der MJB4 für Anwendungen im Zusammenhang mit MEMS und optoelektronischen Bauteilen wie in der LED-Herstellung. Spezielle Konfigurationen ermöglichen ein optimales Handling auch nicht standardisierter Substrate wie Hybride, HF-Bauteile oder zerbrechliche III-V-Materialien. Zusätzlich besteht die Möglichkeit, den MJB4 um ein Modul für die UV-Nanoimprint-Lithografie zu erweitern.

• MJB4 Brochure
• UV-NIL Upgrade Datasheet
• UV-NIL Brochure
• Exposure System
• Printing Modes
• Training