Forschungsprojekte

SÜSS MicroTec hat sich bei einer Reihe von Forschungs- und Entwicklungsprojekten mit Forschungspartnern zusammengeschlossen.

In alphabetischer Reihenfolge:

JEMSiP_3D (Joint Equipment and Materials for System-in-Package and 3D-Integration)

Europäisches Forschungsprojekt innerhalb von ENIAC ((European Nanoelectronics Initiative Advisory Council) mit neunzehn Teilnehmern aus Industrie und R&D, das von SÜSS MicroTec koordiniert wurde. Schwerpunkt: neue Prozesse, Geräte und Stoffe für die 3D Integration. http://jemsip3d.net

MALS (Mask Aligner Lithography Simulation)

Von der bayrischen Staatsregierung finanziertes Forschungsprojekt über die Simulation von Prozessen der Mask-Aligner-Lithografie gemeinsam mit GenISys GmbH, Fraunhofer IISB Erlangen, FH Vorarlberg, OSRAM Opto Semiconductors GmbH. http://www.forschungsstiftung.de/index.php/Projekte/Details/Lithographie-Simulation-fuer-Mask-Aligner.html

TOSA (Tunable Optical Sensor Array)

Vom Bundesministerium für Bildung und Forschung finanziertes Forschungsprojekt mit dem Institut für Nanostructure Technologies and Analytics an der Universität Kassel (INA) beinhaltet Konzeption, Entwicklung und Beschreibung eines durchstimmbaren Sensor-Arrays. http://te.ina-kassel.de/index.php/tosa.html