接合技術

先端MEMS製品

MEMS製造は､先進金属共晶/拡散接合に移行しています。ズースは､最新のMEMSプロセス用途に数多くの量産向けウエハボンダABC200、CBC200/300､XBC300を提供しています｡

特長と利点

  • 高加重 無類の面内加重均一性 設定値に対し±5%
  • 最大温度600℃ 面内温度均一性 拡散接合による気密封止が可能なレベル
  • クラスター（複合装置）のフレキシブルなソフトウエアにより生産性を最大限化