陽極接合

陽極接合は、センサーにイオン伝導性ガラスを使っているMEMSプロセスで使用されます｡ズースのアライナは、オプションにレーザー固定スタックやトリプルスタックアライメントを用意し、貼り合わせ前のアライメント精度を最大限に高めることが可能となっています。これらにより、機能面とスループット両面を強化する3層ウエハの一括接合、例えばガラス/Si/ガラス等が可能です｡

ズースは､陽極接合用途に量産用と開発用装置を揃えています｡私共の経験と実績を積んだ貼り合わせ固定冶具（フィクスチャ）方式が、陽極接合プロセスを量産レベルまでスムーズに移行できるようサポートします｡

全自動クラスター量産装置は､世界中で週7日24時間体制の生産現場でフル稼動しています｡