ガラスフリット接合

ガラスフリットによる接合は、MEMS製造において世界中で広く使われてきた従来型の接合技術です。自動車、ゲーム機、携帯電話に使われている3軸加速度計、ジャイロスコープ、圧力センサー等が代表的アプリケーションです。ABC200は、ガラスフリット接合でも高い評価を得ています。また量産対応クラスター装置は、世界中のMEMS分野にて週7日24時間体制下でフル稼動しています。

主要マーケット

  • MEMSジャイロスコープ、加速度センサー、RF、圧力センサー