ポリマーと接着剤接合は、先端パッケージング、3次元積層と基板仮貼り合わせでのソリューションとなります。接着剤の選択肢は多く、エポキシ、ドライフィルム、BCB、ポリイミド、UV硬化樹脂等があります。ズースはこれらの材料に対応する装置を取り揃えています。ズースのボンダは特に、MEMSやレンズスタッキング、CMOSイメージセンサ量産向けに必要とされる性能とC.o.Oを兼ね備えるよう設計されています。
主要マーケット
- 3次元積層BCB、TSV、3次元IC、メモリスタックと3次元パッケージ
- 化合物半導体LEDパッケージング、Si-Ⅲ/Ⅴまたは他の化合物半導体との積層
- MEMS先端パッケージング