LED製造用に設計されたプロセス装置

LED向けのすべての装置は、高輝度露光ランプハウスおよび高速ハンドリングシステムを装備し、柔軟性およびスループットに対しても最適化されています。リソグラフィ露光ツールは、裏面または赤外線ビューイングシステムを構成することができ、ウエハの表面、裏面、または埋め込まれたフィーチャにアライメントした後に露光する機能を提供します。多くのシステムは、機能やスループットをフィールドで拡張できるように、完全モジュール化されています。また、いくつかのツールは連結が可能であるため、最大限のスループット、プロセス一貫性、オペレータの独立性を発揮できるようになっています。

一般にLEDの市場は、日用品（モバイルフォンの場合$0.10/部品）、高輝度LED（自動車のバックライトの場合$1/部品）、超高輝度部品（建造物の照明の場合$3/部品）に分類され、それぞれの市場分野には独自の課題とビジネスチャンスがあります。日用品LED市場においては、コストが最優先事項であるため、デバイス作成の総コストが綿密に調べられます。ズースでは、この市場向けに、手動操作または構成の単純化によってC.o.Oに優れたツールを提供しています。

高輝度および超高輝度のエンドデバイスにおいては、最低限のコストで最大限の光量をチップから引き出すことがデバイス性能に大きく左右します。この性能はデバイスの製作およびパッケージングに直接依存するため、SUSSツールでは、複数の品質向上オプションを組み込むことができるようになっています。たとえば、分かりやすいユーザインタフェース、フィーチャサイズおよびリソグラフィオーバーレイを最適化するためのハードウェアおよびソフトウェア、自動光学フィルタ交換、マスクライブラリなどのオプションがあります。また、ファクトリオートメーション・パッケージも使用可能です。ファクトリオートメーションでは、処理ツールをファブ固有のコンピュータに直接接続できるため、装置利用と歩留まりの最適化と材料処理の誤りの最小化が保証されます。

SUSSボンダでは、デバイス内で発生した光子の収集効率を高めるために、ミラーやその他の光学要素を組み込んだパッケージの組み立てが可能です。これらの光学要素により、これまで熱として消費されていた光が導かれ、LEDの最終的な出力が向上します。ズースでは、これらすべてのプロセスタイプに対して常に高度な装置とプロセスサポートを提供し、ユーザによるツールの選択、最適化、サポートを支援します。