マイクロオプティクス製品を200mmウエハで製造するケースが増えてきています｡MEMSや半導体分野で十分に培われた技術により、マイクロオプティクスの殆ど全ての構造形状の製造が可能です｡SUSS Microlens Imprints Lithography (SMILE)は、ソフトスタンプにより8インチガラスウエハ上のUV硬化樹脂に高品質マイクロレンズをインプリントまたはエンボスします。代表的なアプリケーションは携帯電話に搭載されるウエハレベルカメラや小型イメージセンサです。インプリントリソグラフィにとってスタンプと材料の平行出しと隙間の設定精度はスタンプや材料それ自体と並んで大切な要素です｡ズースのMA/BA8は､ピエゾリニアセンサーを装備した精密なウエッジエラー補正システム（平行出し）により、高精度に隙間と加重を測定し制御します。高精度の両面マイクロレンズは、サブミクロン精度で正確にXY方向並びにZ方向にも位置合わせされインプリントで実現可能です｡

• Brochure SMILE 110127

• Technology Trends of Microlens Imprint Lithography and Wafer Level Cameras (WLC)
• Wafer Level Cameras - Novel Fabrication and Packaging Technologies
• Wafer-Level Camera – Update on Fabrication and Packaging Technologies

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