標準フォトレジスト

ズースのリソグラフィシステムは、標準的なフォトレジストとBCBのような感光性ポリマーに対しプロセスが可能です｡ズースのコーティングシステムは、全てのアプリケーションに安定した均一なコーティングを行うことができます。ズースのマスクアライナは、独自のパターニングにより多種にわたるアプリケーション用の装置として選ばれています。

主なアプリケーション

• 半導体DRAM、 CMOSイメージセンサ、　ディスプレー(DLP)､アナログ、ディスクリート
• 化合物半導体LED、レーザーダイオード、フィルター、太陽電池､パワーデバイス
• MEMSインクジェットヘッド､圧力センサー､RF-MEMS、加速度センサー、ジャイロスコープ、バイオMEMS、MOEMS、プローブカード、記録媒体RWヘッド