化合物半導体 / LED

化合物半導体は、III-V、II-VI、IV-VI半導体など、周期律表の複数の族の元素で構成される半導体であり、オプトエレクトロニクスや通信関係の製品で幅広く使用されています。化合物半導体の主力分野の1つは、無線通信です。たとえば、モバイル/携帯電話や基地局などのRFIC(無線周波数集積回路)に利用されています。もう1つの主力分野は、LED(発行ダイオード)をはじめとする照明です。ポータブル電子機器や自動車照明などの民生市場で、その利用範囲が拡大しています。その他の利用分野としては、光通信、太陽光発電装置、パワー半導体などがあります。

これらの利用分野に使用されている基板には、ガリウムヒ素(GaAs)、リン酸インジウム(InP)、シリコンカーバイド(SiC)などの材料が含まれます。これらの化合物半導体材料はすべて、ウエハサイズ、材料の脆弱さや多孔性など、製造機器にとって固有の難題を投げかけます。ズースの装置は、これらの材料専用に設計されており、LED製造に最適化されたコータや、これらの特異なウエハのハンドリングやプリアライメント用のエンドエフェクタ、露光ツール、光学センサーなど、専用ハードウェアを備えています。異なるウエハサイズやウエハタイプに頻繁に対応する必要のある顧客には、クイックチェンジ設備セットが用意されています。

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