MEMS / 3D MEMS

未来への革新

MEMS – 機械的機能(センシング、移動、加熱)と電子的機能(スイッチング、判定)を組み合わせ、微細加工技術を使用して同一のチップ上に集積したものです。機械的機能は、従来の電子回路作製と同じ基本プロセスのステップ(パターニング、エッチング、ドーピング、コネクティング)を使用して、シリコンやガラスなどの材料上に作製されます。

MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)は、自動車や工業用のプロセス制御センサーから消費者製品にいたるまで、幅広いアプリケーション範囲にわたって大きな影響を与えています。

MEMSデバイスの例としては、エアバッグ作動用の加速度計、プロジェクタ用のデジタルミラー、圧力センサー、インクジェット・プリンタヘッド、ハードディスク・ドライブ、RF技術用のチューナブル・フィルタ、シリコン・マイクロフォンなどがあります。

これらすべてのデバイスは、製作、組み立ておよびテストのための装置を必要とします。ズース・マイクロテックは、MEMS向けのプロセスからテスト装置までを完全に網羅することにより、高歩留まりのMEMS製造およびウエハレベルのMEMSテストにおけるリーダー、すなわちMEMS市場向けの革新的な装置ソリューションの主要サプライヤとして自らを位置付けてきました。

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