ウエハレベルオプティクス

現在、ウエハレベルで製造されるカメラは、ほぼすべての携帯電話を始め、タッチパッドやラップトップなどのあらゆるモバイル端末に使用されています。このようなカメラは、CMOSイメージセンサとウエハレベルオプティクス (WLO) という2つの主要部品から構成されます。光学系の重要な構成部品はマイクロレンズです。高スループットと低製造コストを実現するには、光学モジュールを個別にパッケージングするのではなく、ウエハレベルでパッケージングすることが重要になります。

SUSS MicroTecでは、ウエハレベルでの光学モジュール製造に関する2つの重要なプロセスステップに対応しています。

  • UV複製によるマイクロレンズインプリント
  • UV接合

UV複製

マイクロレンズのインプリントおよび転写工程では、ガラスキャリアに取り付けられた柔らかいスタンプが型形成される材料に押し付けられ、加圧変形された材料を紫外線の光で硬化させます。この後で行われる間隙の点検によって、インプリント形状の同一性が保たれます。製造装置には、いわゆる「バッファウエハ」をブリッジ層として形成できるタイプを使用してください。このようにして、1回のインプリントプロセスでウエハ両面にレンズを形成できます。

プロセステクノロジー

TechnologyProduct
スピンコータ、スプレーコータ
マスクアライナ
MA/BA8 Gen3, MA200Compact

マイクロレンズの積層

UV複製の後は、レンズウエハ間のバッファとしてスペーサウエハを用いて、レンズウエハを積層します。このプロセスステップではUV接合技術が必要になります。.

プロセステクノロジー

TechnologyProduct
MA/BA8 Gen3, MA200 Gen3

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