フォトマスク装置

新しいテクノロジーノードの導入には、フォトマスク製造に置いて革新的な開発を必要とします。顧客の要望を完全に把握するため、また最大限にマスクの完成度を保証するために、SUSS Micro Tecはお客様や技術パートナー、OEMパートナーとともに密接に提携しています。

SUSS Micro Tecのフォトマスクプロセス装置製品ラインナップは、< 10 nm HPの次世代も含めたリソグラフィー・テクノロジーノードに対応しています。その高品質ソリューションは、ストリップ、洗浄、ポストエクスポージャーベーク、現像プロセスにまで及んでいます。

自動装置

 

手動装置