MA150e

MA150e　全自動マスクアライナ

(紫外線露光装置)

特長

MA150eは、定評ある当社の露光光学系とウェハ/マスク間アライメント技術を組み合わせ、カセットからカセットへ搬送するシステムを搭載した全自動全面一括マスクアライナです。

様々な特殊用途に対応する多彩な追加装備が用意されており、マスク・ホルダ、基板チャック、露光光学系の交換が簡単に行なえます。また、大量生産ばかりでなく、少量生産や研究開発用にも対応できます。全自動システムでありながら、個々のプロセスを単独で動作させることにより、手動による基板のハンドリングも可能です。

オプションにより、裏面顕微鏡によるオートアライメントで、ウェハ裏面パターンに対する、表面パターン露光が全自動にて行なえます。

技術仕様概要

• ウェハサイズ 2インチ～150mm
• 基板サイズ 2インチ角～150mm角
  不定形小片もマニュアルローディングにて可
• UV400/標準光学系 5μm（20μmプロキシミティ）
• UV400/高解像度光学系3μm（20μmプロキシミティ）
• 照度（g,h,i線　積算）約20mWｃ㎡（350W時）
  約55mWc㎡（1000W時）
• 照度均一性照度一定モード
• 露光モードプロキシミティ（ギャップ1～300μm）
  ソフトコンタクト
• ハードコンタクト
  ソフトバキュームコンタクト
  バキュームコンタクト
• アライメント精度±1.0μm（TSA,AutoAL)　TSA：表面アライメント
  ±1.5μm（BSA AutoAL) BSA：裏面アライメント/オプション
• アライメントステージ分解能（X・Y)0.1μm
• アライメントステージ分解能（θ）4x10-5度
• 露光・アライメントギャップ最大300μm
• ギャップ調整　分解能 1μm
• スループット ＞130wph(弊社条件にて1.0sec露光+AutoAlignment
• 寸法/重量1684W x 1454D x 1722H mm

オプションリスト

• 光学系 UV400 LEGO(ラージギャップ用）
  UV300(約280～360nm付近）
• UV300/400（約280～450nm付近）
  UV250（約220～280nm付近）
• 裏面アライメント BSA顕微鏡+BSA顕微鏡ステージ
• ダイレクトアライメント 露光ギャップ（プロキシミティ）、各種露光モード（コンタクト）後のアライメントずれの最終確認シーケンス
• IRアライメント IRキット+BSA顕微鏡ステージ
• OFアライメント OFアライメント用チャック
• Run-Outずれ補正 Therm Alignチャック
• 多クロムエリアマスク用 LCMM型マスクホルダ
  *但しアライメント精度は±1.5μm
• バーコードリーダ マスクID用

＊仕様は改良のため、予告なく変更される場合がありますので詳細は別途お問い合わせください。

• MA150e Brochure

• Training