Delta AltaSpray

高精度3次元形状用スプレーコータ

特長

ズースAlta Sprayコーティングテクノロジーは段差基板コーティングの限界を克服しました。

Alta Sprayは、さまざまな3次元微細構造に高分解能のレジストコーティングをすることが出来るとともに、垂直の角部やKOHエッチング、段差、V溝またはレンズなど、さまざまな構造にコーティングを実施することが可能です。

技術仕様概要

• 基板サイズ最大200mmのウェハ及び150mmの角基板、異型ウェハにも対応
• 基板支持 プロセスチャック内部リフトピン
• スピン速度制御デジタル・スピン・モータ制御により±1rpm
• 供給系統数レジスト2系統、ソルベント2系統
• コーティング方法自社製特性ノズルを使用し、X Y方向スキャン方式によるコーティング
• 寸法1200W x 645D mm
• 基本コンセプト ・手動コータ （+ ホットプレート）
  ・手動ディベロッパもデルタシリーズとしてライン　　ナップ
  ・R&Dや手動での少量生産に対応

＊仕様は改良のため、予告なく変更される場合がありますので詳細は別途お問い合わせください。

• Lithographic Challenges and Solutions for 3D Interconnect