BA6 / BA8 ボンドアライナー

高精度ボンドアライメント

高精度なポストボンドアライメントは高精度な仮ボンドアライメントを必要とします。SUSSイコール精密機器と言われるほどズースのマスクアライナーは品質、性能、信頼性において皆様に周知されており、BA6/BA8は世界中で使われている数千台にも上るマスクアライナーと同じ完璧なウエハアライメント技術をご提供します。

ズースの最新アライナー技術を用いることで、ウエハ　to ウエハのボンドアライメントをサブミクロン精度で且つ高い再現性を持って確実に実現します。

BA8/BA6はスタンドアローン・ボンドアライメントシステムですが、BA200と同様にABC200ボンド・クラスタ装置に統合できるモジュール設計となっています。