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ズース・マイクロテック “Performance Enhancement Program ”-- 機能強化プログラム
装置の生産性を最大限に高める秘訣は、熟練オペレータのシステム機能の理解度と日頃からの装置の適正なメンテナンスにあります。
この”Performance Enhancement Program”-機能強化プログラムは、世界中でズースのリソグラフィ装置をご使用頂いているお客様を対象としています。装置の生産性をさらに高め、耐用年数を延ばし、コストの低減を目的とした、お客様の仕様に合わせたメンテナンスや研修サービスをご提供するものです。システムアップグレードにより、ズース・マイクロテックの装置の機能とプロセス柔軟性の強化を図る支援となるでしょう。
カスタマーサポートプログラムは機能強化の3つの鍵となる要素から構成されています:

トレーニング
- 装置オペレーション
- PatMaxパターン認識
- プロセス・デベロップメント

システムアップグレード
マスクアライナ
- MA300Plus ソフトウェアアップグレード
- UV-NIL(ナノインプリント)アップグレードキット
- MA150/200CC DirectAlign
- MO Exposure Optics
コータ
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