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MJB4
MJB4 手動マスクアライナ(紫外線露光装置)
特長
MJB4 は、サブミクロン域までの十分な解像度を持つ、コンタクト方式高性能手動マスクアライナで、研究開発やラボ、パイロット生産に最適です。豊富なアクセサリーによりあらゆる用途に対応し、効率性・信頼性が高い超小型・低CoOシステムです。4インチ・ウェハおよび4インチ角基板まで対応し、その上、 GaAsやInSbのようなもろくて外界の影響を受けやすい材料によるウェハや基板の破片状のものも処理できます。
特別なオプションとしては、サイリスタ、半導体レーザ及び類似の構造体などに対して、ウェハ裏面でのアライメントを可能にする、赤外線透過アライメントシステムがあります。
技術仕様概要
- ウェハサイズ 2インチ～100mm
- 基板サイズ 不定形小片～100mm
- 解像度
- UV400/標準光学系 5μm（20μmプロキシミティ）
- UV400HR/ 3μm（20μmプロキシミティ）
- 高解像度光学系
- 照度 （g,h,i線 積算） 約40mW/c㎡（200W時）
約80mW/c㎡（350W時） - 照度均一性 5％
- 露光モード プロキシミティ（コンタクト後）、ソフトコンタクト、ハードコンタクト、ソフトバキュームコンタクト、バキュームコンタクト
- アライメント精度 ±0.5μm（TSA) TSA:表面アライメント
±1.0μm（BSA) BSA:裏面アライメント/オプション - 露光・アライメントギャップ 最大300μm
- ギャップ調整 分解能 1μm
- 寸法/重量 600W×800D×650Hmm
- (スタンダード)
オプションリスト
- 光学系 UV400LEGO（ラージギャップ用）
UV300（約280～360nm付近） - UV300/400（約280～450nm付近 ）
UV250（約220～280nm付近） - TSA顕微鏡 モニタ出力 （TFT)
AL-400（2重焦点深度切り替え機能） - 厚膜レジスト用
- 裏面アライメント BSA顕微鏡+BSA顕微鏡ステージ+EISS PC
- IRアライメント IRキット+BSA顕微鏡ステージ（+IR用顕微鏡類）
- OFアライメント OFアライメント用チャック
- CIモード 照度一定モード（350W時のみ）
＊仕様は改良のため、予告なく変更される場合がありますので詳細は別途お問い合わせください。