用於LED製程的檢測設備

所有用於LED製造的設備在靈活性和產能方面都須特別設計，配備了高亮度的曝光光源和高速傳輸系統。光學曝光設備可以配置背面和紅外對準模組，實現晶圓在正面對準、背面對準或掩埋結構對準後的曝光。許多系統都實現了完全的模組化，這使得它們的功能更加完備。某些設備甚至可以互相連接，提高設備的產能、工藝一致性和操作獨立性。

LED市場通常可以分為日用LED（手機中使用的為0.10美元/個）、高亮度LED（汽車中的尾燈為1美元/個）和超高亮度LED（建築照明使用的為3美元/個），每個市場都有它的獨特性。對日用LED市場，成本是極為重要的，因此製造器件的總成本需要精確控制。對於此市場，SUSS提供了手動操作或簡化配置的設備，可以幫助客戶節省非常可觀的成本。

對於高亮度和超高亮度的終端元件，元件特性極度依賴於晶片中產生的最大光強,且性能直接依賴於元件的製造和封裝。針對製造和封裝程序SUSS的設備可以集成幾個性能較強模組，包括一個直覺式的使用介面、用於特殊尺寸和光刻套刻精度的硬體和軟體，自動光學濾波器的更換提供更多的光罩樣本，甚至可以將工廠程序自動化。這個工廠自動控制模組可以將設備直接連接到中央管控主機上，如此可以確保設備在使用上保持最佳狀態也能將人為疏失之比例降到最低。

為了實現從器件中提取所有的光能，SUSS的鍵合機可以把微鏡、其他光學元件與器件裝配為一體，這些元件可以幫助引導和准直那些器件中本來要作為熱量而耗散掉的光能，從而增強LED的輸出光強。依靠所擁有的這些技術，SUSS可以提供專業的設備和工藝支援，來幫助客戶選擇、優化這些設備及技術支援服務。