化合物半導體 / LED

化合物半導體是包含元素週期表中的兩種或多種不同元素的半導體材料,例如III-V、 II-VI和IV-VI等,它被廣泛的用於光電子和通訊電子產品。大部分的化合物半導體應用於無線通訊技術,例如在手機和基地台上應用的射頻積體電路RFICs (Radio Frequency Integrated Circuit)。另一大塊則是包含發光二極體LEDs (Light Emitting Diode)技術的照明應用,它在可攜帶電子和汽車照明等消費電子市場的應用日益增多。其他的應用範圍還包括光通訊、光電和功率半導體。

這些應用所使用的基片材料包括砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)和碳化矽(SiC)等。所有這些材料的特性都給設備的研製帶來了特殊的挑戰,包括晶圓的尺寸、易碎性、甚至是材料的多孔性。針對這些材料的特殊性,SUSS為相關的設備做了特別的處理,並且集成了一些經過特殊設計的模組,包括為LED生產及製程所研發的塗佈機,以及用於這些特殊晶圓和預對準曝光設備和光感測器。對於需要頻繁處理不同尺寸的晶圓種類及此尺寸客戶,SUSS的設備也可以提供相關模組的快速更換。

此外,SUSS的晶圓級測試系統也經過了特殊設計,可以實現射頻微波測試設備(高頻探針,電纜,VNAs等)或光電激勵測試工具的集成化,並且在從工程到量產測試的應用環境中都可以實現極高的測試準確性,完全可以滿足客戶對產能的要求。SUSS也實現了功率半導體和光電器件的測試解決方案。

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