微機電系統

未來世界的創新力量

MEMS – 在同一塊晶片上使用微加工的技術將機械功能(傳感、移動、加熱)和電氣功能(開關、決定)進行整合。與一般電路的基本加工過程相同,在矽和玻璃等材料上製作的機械功能結構也採用圖形化、刻蝕、摻雜和內連線等技術。

微機電系統(MEMS)在汽車、工業控制感測器和消費產品等許多領域都有重要的應用。

這類器件應用的例子包括安全氣囊用的加速感應器、光學投影系統中的數位微鏡、壓力感測器、噴墨列印頭、硬碟驅動器及用於射頻技術或矽微麥克風的可調式濾波器。

所有這些元件都需要用於製造、封裝和測試的設備。依靠完整系列的MEMS技術和測試設備,SUSS MicroTec已經確立了在高產能MEMS製造和晶圓級MEMS測試領域的領先地位,也因此成為MEMS市場創新設備解決方案的主要供應商之一。

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