LithoFab200
適用於MEMS與化合物半導體元件的黃光微影模組化機台
LithoFab200是一台完全模組化的黃光微影解決方案，包括一台MA200Compact光罩對準曝光機與一台ACS200光阻塗佈/烘烤/顯影模組。其中模組化與自由搭配的設計，可讓機台能夠依據客戶的特殊製程流程加以客製化。而光罩對準曝光機與光阻塗佈機這二台機台，也能夠以單機的模式獨立運作。
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