MA150e
MA150e是高度受歡迎運用在微黃光微影的全場域近接式光罩對準曝光機MA150CC的次世代版本。MA150e是為先進的潔淨室環境要求所設計。Windows架構的GUI能夠經由觸控螢幕來操作，而且操作員很容易就能學會。而改善後的AL8100自動化對準系統，能夠完全整合進GUI中，能讓操作員一眼就得知所有重要的訊息。而在同時具有上方載入光罩的承載器與非接觸性間隙設定的選配下，MA150e已經是一台適用於大至6吋基板的量產精簡型解決方案。
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