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旋轉式光阻塗佈機 / 噴霧式光阻塗佈機

以全方位塗怖/顯影解決方案滿足您的需求

SUSS MicroTec光阻塗佈機/噴霧式光阻塗佈機已是優質效能、易於使用、有彈性及專業塗佈的代名詞。SUSS MicroTec塗佈機是具備精簡、易於使用之光阻塗佈設備,可生產從經濟實惠的小產量實驗室設備,到最大300mm之高階生產系統的完整產品線,因此可在相同的製程反應容器內,形成從1µm 到 100µm以上的光阻層。