SUSS MicroTec光阻塗佈機／噴霧式光阻塗佈機已是優質效能、易於使用、有彈性及專業塗佈的代名詞。SUSS MicroTec塗佈機是具備精簡、易於使用之光阻塗佈設備，可生產從經濟實惠的小產量實驗室設備，到最大300mm之高階生產系統的完整產品線，因此可在相同的製程反應容器內，形成從1µm 到 100µm以上的光阻層。
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