ACS200Plus
通用量產型旋轉塗佈 / 顯影模組化機台
ACS200Plus是一台能夠處理晶圓尺寸從2吋到200mm，以及從2吋到大至6吋正方型基板的模組化旋轉塗佈與顯影模組化機台。處理不同基板尺寸轉換之間，並不需要進行機械性的變更。此系統提供了在不同應用的晶圓上，如薄光阻與厚光阻或光敏性聚合物(如polyimide，Cyclotene (BCB))所需的旋轉與噴灑塗佈、烘烤與顯影等優越效能。此系統的特性滿足了主要運用在光電子、MEMS與先進封裝市場上的尖端光阻製程的所有要求。
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