Gamma
適用於量產與研發的旋轉塗佈與顯影平台
Gamma自動化光阻處理系統是被設計用來符合製造廠對於清潔、可靠度、高產出率與成本效益的光學微影製程的需求。SUSS的Gamma系統能利用模組的裝配，而具有旋轉塗佈、噴灑塗佈、顯影、烘烤、冷卻、HMDS氣相塗底，以及具有晶片盒傳送/接收功能。
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Gamma自動化光阻處理系統是被設計用來符合製造廠對於清潔、可靠度、高產出率與成本效益的光學微影製程的需求。SUSS的Gamma系統能利用模組的裝配，而具有旋轉塗佈、噴灑塗佈、顯影、烘烤、冷卻、HMDS氣相塗底，以及具有晶片盒傳送/接收功能。
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