LabSpin6 and LabSpin8
實驗室塗佈及顯影解決方案，適用於尺寸在150 及 200mm之晶圓
SUSS MicroTec的 LabSpin 平台為次世代的手動光阻塗佈機／顯影系統，是專為實驗室及研發人員而開發。LabSpin 系統是為各種微影化學藥劑而設計，可透過先進的Cup設計，完成均勻、精確、重覆性高的塗佈結果。
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