塗佈

可採用不同方法塗佈感光塗層或其它材料。 因此需要將基板,通常為矽晶圓,壓固在一個轉盤上。 接著,在基板表面塗抹溶液。晶圓結構是選擇塗膠方式的決定性因素。目前最常用的方法是旋轉式塗佈。它用於沒有或者只有極小表面結構的晶圓。對於表面結構複雜的晶圓,另一選擇即為噴霧式塗佈。

旋轉式塗佈

旋轉式塗佈是在旋轉基板均勻地塗以溶液。溶液,如感光塗層,通常分注在晶圓中心。隨後的加速度、最終轉速和各步驟的持續時間,使得塗料的一部分經離心分離形成厚度均勻的膜。除了處理參數外,溶液或感光塗層的物理性質決定了膜的厚度。

SUSS MicroTec 的 GYRSET 專利技術具有顯著的優勢。GYRSET的原理是,塗佈室在塗膠過程中同步旋轉,從而有效降低了旋轉基板上方的空氣湍流。在封閉的塗佈室中空氣比通常用溶劑時更快速地飽和,使塗層乾燥緩慢,從而更均勻地分佈在基板上。這將大幅減少材料用量。

旋轉式塗佈不適用於有凹凸圖形的結構。

特色與優點

  • 旋轉式塗佈為操作簡單且廣泛應用的方法
  • 通過 GYRSET 專利塗膠技術減少材料消耗並降低成本

全自動設備

手動設備

噴霧式塗佈

使用噴霧式塗佈時,噴嘴會將欲塗抹的溶液噴在晶圓上。優化後的晶圓上方噴嘴移動路徑確保基板上塗層的均勻。 噴霧所用的液體通常粘度極低,能確保形成細小的液滴。
噴霧式塗佈即使在凹凸圖形上也能形成均勻的塗層,因此為該結構的第一選擇。噴霧式塗佈亦能噴塗方形基板。

特色與優點

  • 即使在崎嶇結構的表面上亦能形成均勻的表面塗層

全自動設備

手動設備

下載與聯絡