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陽極接合

在微機電感測器製程中，如有用到離子玻璃材料時，需要以陽極接合來進行。SUSS MicroTec的對準產品可用於鐳射追蹤和三層疊層對準的模組，如果配合接合機一起運作，將有助於開發許多先進的產品。在玻璃/矽/玻璃的疊層接合中，三層可以同時進行接合，可提高性能和產率。

SUSS可以提供完整系列的生產和研發用陽極接合設備。我們的設備和技術已經在世界各地工廠生產線上連續運轉並得到廣泛應用和驗證。依據我們的經驗，完全有能力幫助客戶開發具有量產能力的陽極接合技術。

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